Category Article
¡¼Trend Report ¡½´ÙÀ̾Ƹóµå Àü·Â¼ÒÀÚÀÇ °³¹ß µ¿Çâ
2022-01-01

´ÙÀ̾Ƹóµå Àü·Â¼ÒÀÚÀÇ °³¹ß µ¿Çâ
Á¤°øÀ̵¿, Àý¿¬Æı« Àü°è, ¿­Àüµµ µî ³ô°í À¯ÀüÀ² ³·¾Æ

º¸¼®À¸·Î¸¸ ¾Ë¾Ò´ø ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â °øÇÐÀûÀ¸·Î º¸¸é ÁÖ±âÀ²Ç¥¿¡¼­ Á¦14Á·¿¡ ¼ÓÇÏ°í °Ô¸£¸¶´½(Ge)°ú ½Ç¸®ÄÜ(Si) À§ÂÊ¿¡ ÀÚ¸®ÇÑ´Ù. ½Ç¸®ÄÜ°ú °°Àº ¿ø¼Ò ¹ÝµµÃ¼À̸ç, È­ÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼¿Í ´Þ¸® º»ÁúÀûÀ¸·Î ºÒ¼ø¹°À̳ª °áÇÔÀÌ ÀûÀº °áÁ¤ ±¸Á¶°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ, Àý¿¬ ³»¾ÐÀ̳ª ¿­ÀüµµÀ² µî¿¡¼­ ´Ù¸¥ ¹ÝµµÃ¼º¸´Ù ¿ì¼öÇØ ÆÄ¿ö ¼ÒÀÚ¿ë ¹ÝµµÃ¼ Àç·á·Î¼­ ±â´ë¸¦ ¸ðÀ¸°í ÀÖ´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â Àüµµ¸¦ ´ã´çÇÏ´Â ÀÚÀ¯ ÀüÀÚÀÇ ¿¡³ÊÁö°¡ Áø°ø ÁØÀ§º¸´Ù ³ô¾ÆÁö´Â À½ÀüÀÚ Ä£È­·ÂÀ̳ª ½Ç¿Â¿¡¼­µµ ¾ÈÁ¤µÈ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ, ±ä ½ºÇÉ ¿ÏÈ­ ½Ã°£ µî ´Ù¸¥ ¹ÝµµÃ¼¿¡´Â ¾ø´Â ¹°¼ºÀ» º¸ÀδÙ. ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ´õ ±í°Ô ÀÌÇØÇÏ·Á´Â ¿òÁ÷ÀÓÀÌ ´õÇØÁö¸é¼­ ´ÙÀ̾Ƹóµå ¼ÒÀÚ °³¹ßÀÌ °¡¼ÓÈ­µÇ°í ÀÖ´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå ¼ÒÀÚ ¿¬±¸¿¡¼­´Â ÀϺ» ¿¬±¸ÁøÀÌ ¾Õ¼­ ½ÇÀûÀ» ³»°í ÀÖ¾î À̸¦ Áß½ÉÀ¸·Î »ìÆ캸¾Ò´Ù.

<ÆíÁýºÎ>

Àü·Â¼ÒÀÚ ¼ÒÀç·Î¼­ÀÇ ´ÙÀ̾Ƹóµå
´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ¿ì¼öÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Ư¼ºÀ» °âºñÇØ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Àç·á·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ¿ì¼±, Àü±âÀû Ư¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÏ°í, ½ÉÀڿܼ± ¿µ¿ª¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â ³ÐÀº ¹êµå°¸(5.5 eV)°ú ³ôÀº Á¤°ø À̵¿µµ(£¾2000 §²/Vs ½Ç¿Â), ³ôÀº Àý¿¬Æı« Àü°è(~10 §È/§¯), ³ôÀº ¿­Àüµµµµ(£¾2,000 W/mK), ³·Àº À¯ÀüÀ²(5.7)À» °®´Â´Ù. ƯÈ÷, ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º¿ë Àç·á·Î¼­´Â ³ôÀº Àý¿¬Æı« Àü°è(SiÀÇ 30¹è, SiC³ª GaNÀÇ 3¹è)¸¦ º¸ÀδÙ. ÀÌ·¯ÇÑ ¹°¼º ¶§¹®¿¡ µå¸®ÇÁÆ®ÃþÀ» ¾ã°Ô ÇØ ¿ÂÀúÇ×À» ³·Ãâ ¼ö ÀÖ´Ù. °Ô´Ù°¡ ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼¿¡¼­´Â ¹ÙÀÌÆú¶ó(bipolar)ÇüÀÌ ¾Æ´Ï¸é Çã¿ëÇÒ ¼ö ¾ø´Â °í³»¾Ð ¿µ¿ªÀÌ¶óµµ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ´Ù¼ö ij¸®¾î µð¹ÙÀ̽ºÀÎ À¯´ÏÆú¶ó(unipolar)Çü¿¡¼­µµ µ¿ÀÛÀÌ °¡´É°í ½ºÀ§Äª ¼Õ½ÇÀ» ³·Ãâ ¼ö ÀÖ´Ù.
[Ç¥ 1]Àº 4H-SiC¿Í ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ »ç¿ëÇÑ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ³»¾ÐÀ» ³ªÅ¸³½ °ÍÀÌ´Ù. µð¹ÙÀ̽º ³»¾ÐÀ» È®Á¤Çϸé Àç·áÀÇ Àý¿¬Æı« Àü°è·ÎºÎÅÍ ÇÊ¿äÇÑ °áÁ¤¸· µÎ²²(ÀÌ °ª ÀÌ»óÀÌ ÇÊ¿ä)¿Í ºÒ¼ø¹°ÀÇ µµÇÎ ³óµµ(ÀÌ °ª ÀÌÇÏ¿¡¼­ Á¦¾î°¡ ÇÊ¿ä)¸¦ ¾î¸²ÀâÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ³»¾ÐÀÌ 20 §ÇÀÎ µð¹ÙÀ̽º¸¦ »ý°¢ÇÑ´Ù¸é SiC¿¡¼­´Â µµÇÎ ³óµµ 4×1014 §¯-3¸¦ ¸· µÎ²² 210 §­¿¡ °ÉÃÄ °íÁ¤¹Ðµµ·Î Á¦¾îÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ¾î¶² ƯÁ¤ ¼ºÀå Á¶°Ç¿¡¼­´Â ¹é±×¶ó¿îµå ºÒ¼ø¹° ³óµµ¸¦ 1013 §¯-3(0.1 ppb)±îÁö ¾ïÁ¦ÇÒ ¼ö Àִµ¥, À̰͵µ ¸ñÇ¥ µµÇÎ ³óµµÀÇ ÇÑ ÀÚ¸´¼ö ³·Àº °ªÀ̶ó´Â Á¡¿¡¼­ µµÇÎ ³óµµ¸¦ Á¦¾îÇϱⰡ ¾ó¸¶³ª ¾î·Á¿îÁö ¿³º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ °æ¿ì, Àý¿¬Æı« Àü°è°¡ ³ô±â ¶§¹®¿¡ ´õ ³ôÀº ³»¾ÐÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â µð¹ÙÀ̽º¶óµµ SiCº¸´Ù ÇÑ ÀÚ¸´¼ö ³ôÀº µµÇÎ ³óµµ¿ª(£¾1015 §¯-3)À» Á¦¾îÇÏ¸é µÈ´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â °áÁ¤ ¼ºÀåÀÌ ¾î·Á¿î Àç·áÁö¸¸ ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º¿¡ ¿ä±¸µÇ´Â ºÒ¼ø¹° Á¦¾î¿¡ °üÇؼ­´Â ´Ù¸¥ ¿ÍÀÌµå ¹êµå°¸ Àç·áº¸´Ù ¿ëÀÌÇÏ´Ù.

´ÙÀ̾Ƹóµå ±âÆÇ ¼ºÀå¹ý
´ÙÀ̾Ƹóµå ±âÆÇÀÇ ¼ºÀå ¹æ¹ý¿¡´Â °í¿Â°í¾Ð¹ý°ú È­Çбâ»óÁõÂø(Chemical Vapor Deposition: CVD)¹ý µÎ Á¾·ù°¡ ÀÖ´Ù.

°í¿Â°í¾Ð¹ýÀº ¹úÅ© °áÁ¤À» ÇÕ¼ºÇÏ´Â ¹æ¹ý Áß Çϳª·Î, °í¾Ð¿¡¼­ ¿ø·á¸¦ ¿ë¸Å¿¡ ¿ëÇØ-Àç¼®ÃâÇÔÀ¸·Î½á ´Ü°áÁ¤À» ÇÕ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â »ó¾Ð¿¡¼­ ÁؾÈÁ¤ »óÅÂÀε¥, ¼ö¸¸ ±â¾Ð ÀÌ»óÀÎ °æ¿ì(°¡·É 50,000±â¾Ð, 1,400¡É µî)¿¡¼­ ¿­¿ªÇÐÀûÀ¸·Î ¾ÈÁ¤µÈ´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå °áÁ¤ÀÇ °í¼øµµÈ­³ª °íÇ°ÁúÈ­¿¡´Â ¼ºÀå Á¶°ÇÀÇ ÃÖÀûÈ­¿Í ÇÔ²² ÀûÀýÇÑ ±Ý¼Ó ¿ë¸ÅÀÇ ¼±Á¤ÀÌ Çʼö´Ù. ´ëºÎºÐÀÇ °ø¾÷¿ë ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â °í¿Â°í¾Ð¹ýÀ¸·Î »ý»êÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, Áú¼Ò³ª ºØ¼Ò, ¿ë¸Å ¼ººÐ µîÀÇ ºÒ¼ø¹°À» Æ÷ÇÔÇÏÁö ¾Ê´Â °í¼øµµ ´Ü°áÁ¤ ÇÕ¼º¿¡´Â ³ôÀº ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ¼ºÀå ÀåÄ¡ÀÇ ¼ÒÇüÈ­·¹ü¿ëÈ­¸¦ »ý°¢ÇÏ¸é »ó¾Ð·Àú¾Ð¿¡¼­ ÇÏ´Â CVD ¼ºÀåÀÌ ¹Ù¶÷Á÷ÇÏ´Ù. ±×·¯³ª º»µð »ó¾Ð¿¡¼­ ÁؾÈÁ¤ »óÅÂÀÎ ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ CVD¹ýÀ¸·Î ¼ºÀåÇϱⰡ ½±Áö ¾Ê¾Ò´Ù.
 
CVD¹ýÀº ¹Ú¸· ¼ºÀå ¹æ¹ýÀÇ Çϳª·Î, ¹ÝÀÀ ¿ë±â ³»¿¡ ¹Ú¸·ÀÇ ±¸¼º ¿ø¼Ò¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ´Â ¿ø·á °¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ±âÆÇ À§¿¡¼­ ¿ø·á °¡½º¸¦ ºÐÇØ·È­ÇÐ ¹ÝÀÀÇÔÀ¸·Î½á ±âÆÇ À§¿¡ ¹Ú¸·À» ÅðÀûÇÑ´Ù. ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î, ÁÖ·Î ¸Þź°¡½º¿Í ¼ö¼Ò°¡½º¸¦ ¿ø·á·Î Çʶó¸àÆ® ¶Ç´Â ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ¿©±â Çö󽺸¶¸¦ ÀÌ¿ëÇØ È°¼ºÁ¾À» »ý¼ºÇÔÀ¸·Î½á ´Ù°áÁ¤ÀÏ °æ¿ì Áö¸§ 6ÀÎÄ¡ ÀÌ»óÀÇ ±âÆÇ À§¿¡ ´ÙÀ̾Ƹóµå ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå µð¹ÙÀ̽º¿¡´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ´Ü°áÁ¤ ±âÆÇ À§¿¡ ºÒ¼ø¹° µµÇÎ µîÀ» ÇÑ °í±â´É ¹Ú¸·À» ¿¡ÇÇÅÃ½Ã¾ó ¼ºÀåÇÑ ¿¡ÇÇÅýþó ±âÆÇÀ» ¾²°í ÀÖ´Ù.

ÇÁ¶û½º Æĸ® Á¦13´ëÇб³ÀÇ ¾ß»þ¸£(J. Achard)¿Í ÀϺ» ¹°Áú·Àç·á¿¬±¸±â±¸ÀÇ µ¥¶óÁö ¿¬±¸ÁøÀÇ ¹ßÇ¥, ¿µ±¹ ¿¤¸®¸ÕÆ® ½Ä½º(Element Six)»çÀÇ ÀÚ¸³ ±âÆÇ ÆǸŰ¡ °í¼Ó ¼ºÀå ±â¼úÀÇ µ¹Æı¸°¡ µÆÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ Çö󽺸¶ CVD ÀåÄ¡ÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ¿øÀÇ °íÃâ·ÂÀ¸·Î ÇÕ¼º ¼Óµµ°¡ ºñ¾àÀûÀ¸·Î Çâ»óµÆ´Ù.

±×µ¿¾ÈÀº °í¿Â°í¾Ð¹ýÀ¸·Î Á¦ÀÛÇÑ ±âÆÇ À§¿¡ CVD¹ýÀ¸·Î °í±â´É ¹Ú¸·À» Á¦ÀÛÇÏ´Â °ÍÀÌ ÀϹÝÀûÀ̾ú´Ù. ÃÖ±Ù CVD ¼ºÀå ÀåÄ¡ÀÇ ¼º´É Çâ»óÀ¸·Î Àå½Ã°£ ¹Ú¸· ¼ºÀåÀÌ °¡´ÉÇÏ°í, ¶Ç Áú¼Ò µµÇÎÀ¸·Î ¹Ú¸·ÀÇ ¼ºÀå ¼Óµµ°¡ ºñ¾àÀûÀ¸·Î Çâ»óÇÔ¿¡ µû¶ó 0.5 §®°¡ ³Ñ´Â Èĸ·À» ºñ±³Àû ¼Õ½±°Ô CVD ¼ºÀåÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù. ±× °á°ú CVD ±âÆÇÀÌ ½ÃÆǵǴ ¼öÁØ¿¡ À̸£·¶´Ù.
 
´ëÇü ¿þÀÌÆÛ Á¦ÀÛ¿¡¼­´Â ÀÛÀº Á¶°¢À» ŸÀÏ ¸ð¾çÀ¸·Î ¸¸µé¾î ¹Ú¸· ÁõÂø¿¡¼­ ÀÏüȭÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ½ÃµµÇßÀ¸³ª ±âÆÇÀÇ °áÁ¤ ¹æÀ§°¡ ¸ÂÁö ¾Ê¾Æ ¾î·Á¿òÀ» °Þ¾ú´Ù. ÀϺ» »ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¸ðÄí³ë ¿¬±¸ÁøÀº ÇϳªÀÇ ´Ü°áÁ¤¿¡¼­ º¹»ç ±âÆÇÀ» È¿À²ÀûÀ¸·Î Àß¶ó³¾ ¼ö ÀÖ´Â ‘µð·ºÆ® ¿þÀÌÆÛÈ­’ ¹æ¹ýÀ» °³¹ßÇÏ°í, 2ÀÎÄ¡¿¡ À°¹ÚÇÏ´Â ¸ðÀÚÀÌÅ© ¸ð¾ç ´ÙÀ̾Ƹóµå ÆÇÀ» °³¹ßÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ½ÇÇè È¿À²À» ´ëÆø ²ø¾î¿Ã¸®¸é¼­ ´Ü°áÁ¤ ±âÆÇ ÀÚüÀÇ ´ëÇüÈ­¸¦ ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÇÑÆí, ´ëÇü ¿þÀÌÆÛ Á¦ÀÛÀ» À§ÇØ ÀÌÁ¾ ´ëÇü ±âÆÇ À§¿¡ °íÇ°Áú ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÁõÂøÇÏ´Â ÇìÅ×·Î ¿¡ÇÇÅÃ½Ã¾ó ¼ºÀå ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸ °³¹ßÀÌ ÀÖ¾ú´Ù. CVD ¼ºÀåÀÌ °¡´ÉÇØÁø ¹«·ÆºÎÅÍ ´Ù¾çÇÑ ½Ãµµ°¡ ÀÖ¾úÀ¸³ª ¸ðµÎ ´Ù°áÁ¤ ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ¹üÁÖ¿´´Ù. ÀÌ ¶§¹®¿¡ 1990³â ÀüÈÄ·Î ÀÖ¾ú´ø ¹Ì±¹ÀÇ ÇÁ·ÎÁ§Æ®´Â ´ÙÀ̾Ƹóµå ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±â´ÉÀ» ¹ßÈÖÇÏÁö ¸øÇÑ Ã¤ ÀÏ´Ü ¸·À» ³»¸®°í ¸»¾Ò´Ù.

[Ç¥ 2]´Â ¼ºÀå ¹æ¹ý¿¡ µû¶ó ¾òÀº ´ÙÀ̾Ƹóµå ±âÆÇÀÇ »çÀÌÁî¿Í ¼øµµ¸¦ ³ªÅ¸³½´Ù. Çü¸íÀº º¸¼® Àå½Ä¿ë ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼­ ÀÚÁÖ ¾²ÀÌÁö¸¸ ¿¬±¸ ¾÷°è¿¡¼­µµ ³Î¸® ¾²ÀδÙ. Áú¼Ò ³óµµÀÇ ¸¹°í ÀûÀ½¿¡ µû¶ó ¥°Çü/¥±ÇüÀ¸·Î ºÐ·ùµÇ°í, ¿©±â¼­ ´Ù½Ã ºØ¼Ò ³óµµÀÇ ¸¹°í ÀûÀ½¿¡ µû¶ó a/b·Î ¼¼ºÐÈ­µÈ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â ·¯½Ã¾Æ°¡ ´Ü°áÁ¤ ±âÆÇÀ» È°¹ßÈ÷ ÆǸÅÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±× ¹Û¿¡µµ ½Ì°¡Æ÷¸£¿Í Áß±¹, ¹Ì±¹¿¡¼­ ´ÙÀ̾Ƹóµå ±âÆÇÀ» ÆǸÅÇÏ°í ÀÖ´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå ±âÆÇÀÇ ÀüÀ§ ¹Ðµµ´Â Æò°¡¹ý µî¿¡ µû¶ó °ªÀÌ °í¸£Áö ¸øÇÏ´Ù. ½ÃÆÇ ÁßÀÎ ¥°bÇü ±âÆÇ¿¡¼­´Â 103 §¯-2 ÀÌ»óÀ̶ó°í Çϳª ¿¬±¸ ´Ü°è¿¡ ÀÖ´Â °í¿Â°í¾Ð¹ý ±âÆÇ¿¡¼­´Â 100 §¯-2 ÀÌÇ϶ó´Â º¸°í°¡ ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ, ¿¡ÇÇÅýþó ¹Ú¸· ¼Ó ÀüÀ§ ¹Ðµµ´Â º»°í¿¡¼­µµ ¼­¼úÇÏ°ÚÁö¸¸ º£À̽º ±âÆÇÀÇ ÀüÀ§ ¹Ðµµ¿¡ Å©°Ô Á¿ìµÇ¸ç, ÀüÀ§°¡ ³·Àº ±âÆÇÀ» »ç¿ëÇϸé 103 §¯-2 ÀÌÇÏÀÇ ¿¡ÇÇÅýþó ¹Ú¸·À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù´Â º¸°íµµ ÀÖ´Ù.

´ÙÀ̾Ƹóµå Àüµµµµ Á¦¾î
´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ºÒ¼ø¹° ³óµµ Á¦¾î¸¦ ÅëÇØ ¿­ ÀÚ¸´¼ö ÀÌ»ó¿¡ °ÉÃÄ Àüµµµµ¸¦ Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ‘¹ÝµµÃ¼’´Ù. Á¤È®ÇÏ°Ô´Â ÃÖ±Ù 20¿© ³â µ¿¾È ¹ÝµµÃ¼·Î¼­ pÇü, nÇü°ú ÇÔ²² Àüµµµµ Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇØÁø »õ·Î¿î ¹ÝµµÃ¼¶ó°í º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡ Àüµµ¼ºÀÌ ÀÖ´Ù´Â °ÍÀº ¿¹ÀüºÎÅÍ ¾Ë·ÁÁø »ç½ÇÀÌ´Ù. 1990³â´ë Àü¹Ý¿¡´Â È¥ÀÔµÈ ºØ¼Ò°¡ ¾ï¼ÁÅÍ(acceptor)·Î ÀÛ¿ëÇϱ⠶§¹®À̶ó°í ÀÌÇØÇß´Ù. ¹Ý¸é, nÇüÀº ÀÚ¿¬°è¿¡ Á¸ÀçÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù. Áï, ÇÕ¼ºÀÌ ¸Å¿ì ¾î·Æ´Ù. ±×·±µ¥ 1997³â ÀϺ»ÀÇ ¹«±âÀçÁú¿¬±¸¼Ò(Çö ¹°Áú·Àç·á¿¬±¸±â±¸)ÀÇ °íÀÌÁî¹Ì ¿¬±¸ÁøÀÌ µ¹Æı¸°¡ µÇ´Â, ÀÎ(P)À» µµÇÎÇÑ È£¸ð ¿¡ÇÇÅýþó nÇü {111}¸é ¼ºÀå CVD ´ÙÀ̾Ƹóµå ¸·À» ¹ßÇ¥Çß´Ù.

±×·¯³ª ºØ¼Ò ¾ï¼ÁÅÍ´Â 0.36 eV(360 meV), ÀÎ µµ³Ê(donor)´Â 0.57 eV(570 meV)·Î, È°¼ºÈ­ ¿¡³ÊÁö°¡ SiÀÇ °æ¿ì¿Í °ßÁÖ¾î ¾öû³ª°Ô Å©´Ù. Àüµµµµ´Â ij¸®¾î ¼ö¿¡ ºñ·ÊÇϱ⠶§¹®¿¡ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ½Ç¿Â¿¡¼­ °íÀúÇ×ÀÌ µÇ¾î ¹ö¸°´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ Àç·á°¡ µÇ±â ¾î·Á¿ì³ª »õ·Î¿î ¹ÝµµÃ¼ Àç·á·Î¼­ ±âÃÊ ¿¬±¸°¡ °è¼ÓµÆ´Ù.

´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ÀüÀÚ³ª Á¤°øÀÇ À¯È¿ Áú·®ÀÌ ´Ù¸¥ ¹ÝµµÃ¼¿¡ ºñÇØ Å©°í À¯ÀüÀ²ÀÌ ÀÛ´Ù´Â Á¡ ¶§¹®¿¡ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚÀÇ °áÇÕ ¿¡³ÊÁö°¡ 80 meV°¡ µÇ´Âµ¥, ÀÌ´Â ½Ç¿ÂÀÇ ¿­¿¡³ÊÁö 25 meVº¸´Ù 3¹è ÀÌ»ó Å©´Ù. ÀÌ ¶§¹®¿¡ ½Ç¿Â¿¡¼­µµ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ°¡ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î Á¸ÀçÇÑ´Ù. ºÒ¼ø¹°ÀÌ ¾ÆÁÖ ÀûÀº °íÇ°Áú Áø¼ºÇü(intrinsicÇü: iÇü) ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ½Ç¿Â¿¡¼­µµ ÀüÀÚºö ¿©±â µî¿¡ ÀÇÇÑ ¹ß±¤(Cathodoluminescence: CL)À¸·Î ¹êµå°¸À» ¹Ý¿µÇÏ´Â ´ÙÀ̾Ƹóµå °íÀ¯ÀÇ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ ¹ß±¤(ÆÄÀå 235 §¬(5.27 eV))À» º¸À̴µ¥, CVD ¹Ú¸·¿¡¼­´Â ÀϺ»ÀÇ ÀüÀÚ±â¼úÁ¾ÇÕ¿¬±¸¼Ò(Çö »ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ¿¬±¸¼Ò)ÀÇ ¿ÍŸ³ªº£ ¿¬±¸ÁøÀÌ ¼¼°è¿¡¼­ óÀ½À¸·Î ¼º°øÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.

±âº»ÀÌ µÇ´Â pn Á¢ÇÕ ´ÙÀÌ¿Àµå´Â nÇü ÇÕ¼º¿¡ ¼º°øÇÑ °íÀÌÁî¹Ì ¿¬±¸ÁøÀÌ ´Ù½Ã±Ý µ¹Æı¸¸¦ ¿­¾ú´Ù. ´Ü¼øÈ÷ Á¤·ù¼ºÀ» º¸¿´À» »Ó ¾Æ´Ï¶ó pn Á¢ÇÕ ´ÙÀÌ¿Àµå°¡ ¿Â »óÅÂÀÏ ¶§ Àú¿Â¿¡¼­ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ ¹ß±¤À» °üÃøÇØ Á¤¸»·Î ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ pn Á¢ÇÕÀ» Áõ¸íÇß´Ù´Â Á¡ÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù. ´Ù¸¸ °áÇÔÀ¸·Î »ý±ä ¹ß±¤(deep level ¹ß±¤)ÀÌ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ ¹ß±¤º¸´Ù °­Çß´Ù. ´ç½Ã¿¡´Â À̸¦ Si¿Í °°Àº °£Á¢ ÀüÀÌÇü ¹ÝµµÃ¼À̱⠶§¹®À̶ó°í ¿©°å´Ù.

¿È Àü±Ø¿¡ ´ëÇØ pÇüÀº Ti Àü±ØÀ» ¿­Ã³¸®ÇØ ¾²´Âµ¥, nÇüÀº ¿ÍÀÌµå ¹êµå°¸ÀÇ ¼÷¸íÀ¸·Î »ó´çÈ÷ Å« ¼îƮŰ À庮ÀÌ »ý±â´Â ¹Ù¶÷¿¡ ¿È Àü±ØÀ» Çü¼ºÇϱⰡ ¸Å¿ì ¾î·Á¿ü´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î Àü±ØÀÇ Á¢ÃË ÀúÇ×À» ³·Ãâ ¸ñÀûÀ¸·Î °í³óµµ µµÇÎ ±â¼ú °³¹ßÀÌ ÃßÁøµÆ´Ù. ±× °á°ú, 1019 ÈĹݺÎÅÍ 1022 §¯-3·Î ºØ¼Ò ³óµµ°¡ ¾ÆÁÖ ³ôÀº p+Çü ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ÇÕ¼ºÀÌ ¹ßÇ¥µÆ´Ù. ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Åº¼Ò ¿øÀÚ ¹Ðµµ´Â 1.5×1023 §¯-3À̹ǷΠ0.03 %¿¡¼­ 10 % Á¤µµ±îÁö µé¾î ÀÖ°Ô µÈ´Ù.

¾Æ¹«·¡µµ °áÁ¤¼ºÀº ¶³¾îÁ³Áö¸¸, ´Ù¸¥ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á¿Í ´Þ¸® Áß¿äÇÑ °ÍÀº ÇÕ±ÝÈ­ÇÏÁö ¾Ê°í ´ÙÀ̾Ƹóµå °áÁ¤À¸·Î¼­ÀÇ ÀüÀÚ »óÅ°¡ ¹«³ÊÁöÁö ¾Ê¾Ò´Ù´Â Á¡ÀÌ´Ù. ÀÌ ¶§¹®¿¡ °í³óµµ µµÇÎÀÇ È¿°ú·Î ÅͳΠÇö»óÀÌ ±âº»ÀÌ µÇ´Â ºÒ¼ø¹° ÁØÀ§ °£ È£ÇÎ Àüµµ(hopping conduction)¿Í ºÒ¼ø¹° ¹êµå Àüµµ, ±Ý¼ÓÀû Àüµµ, ±Ý¼Ó Àüµµ¸¦ °üÃøÇßÀ¸¸ç, ½Ç¿ÂÀÇ Àú³óµµ ¿µ¿ª ¹êµå Àüµµ¿Í °ßÁÖ¾î ÀúÇ×·üÀÌ µÎ¼¼ ÀÚ¸´¼ö ¶³¾îÁ³´Ù. nÇü¿¡¼­µµ »ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ¿¬±¸¼ÒÀÇ °¡Åä ¿¬±¸ÁøÀÌ °°Àº ½Ãµµ¸¦ ÇØ ÀúÇ×·üÀ» ³× ÀÚ¸´¼ö ÀÌ»ó ¶³¾î¶ß·È´Ù[±×¸² 3].

»õ·Î¿î ´ÙÀ̾Ƹóµå ¹ÝµµÃ¼
À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î »ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¾ß¸¶ÀÚÅ° ¿¬±¸ÁøÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ °¡Áö´Â ¹ÝµµÃ¼·Î¼­ÀÇ Æ¯Â¡À» ÀçÂ÷ Á¤¸®, ÀÌÇØÇÏ°í ¿¬±¸ ¸ñÇ¥¸¦ ¸íÈ®È÷ Çß´Ù. Áï, ´ÙÀ̾Ƹóµå ¿¬±¸ÀÇ ¸ñÀûÀ» ÀçÈ®ÀÎÇÏ°í ¸ñÀûÀ» ÃÖ´ëÇÑ »ì¸®´Â ±¸Á¶´Â ¹Ù·Î ¸ñÇ¥·Î ÇØ¾ß ÇÒ ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ ±¸Á¶¶ó´Â ÀνÄÀ̾ú´Ù.

¾Õ¼­ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â °£Á¢ ÀüÀÌÇüÀÌ¶ó¼­ ºûÀ» ³»Áö ¾Ê´Â´Ù°í ¼³¸íÇßÀ¸³ª ÀÌ´Â ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ ¹ß±¤ÀÌ ½Ç¿Â¿¡¼­´Â °ÅÀÇ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Si¿¡¼­ÀÇ »ó½ÄÀ¸·Î, ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ°¡ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î Á¸ÀçÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Á¶°Ç¿¡¼­¶ó¸é ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÆÄÀå 235 §¬ÀÇ ½ÉÀڿܼ± ¹ß±¤ ¼ÒÀÚ°¡ ¿ø¸®ÀûÀ¸·Î °¡´ÉÇØÁø´Ù.

LED¿¡¼­ ¹ß±¤À» È¿À²ÀûÀ¸·Î ´ã´çÇÏ´Â È°¼ºÃþÀº °íÇ°Áú iÃþ(Áø¼º ¹ÝµµÃ¼Ãþ: intrinsicÃþ)À» pÃþ°ú nÃþ »çÀÌ¿¡ ³¢¿î p-i-nÇü ´ÙÀÌ¿Àµå°¡ ÀϹÝÀûÀÌ´Ù. À̸¦ Åä´ë·Î »ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¸¶Å°³ë ¿¬±¸ÁøÀ» Áß½ÉÀ¸·Î p-i-nÇü ´ÙÀÌ¿Àµå¸¦ ¿¬±¸ °³¹ßÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù.

´çÃÊ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ ¹ß±¤Àº È®ÀÎÇßÁö¸¸ °­µµ°¡ »ó´çÈ÷ ¾àÇß´Ù. ±×·¯´Ù »ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¿ÍŸ³ªº£ ¿¬±¸ÁøÀÌ iÇü CVD ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ÀüÀÚºö Àü·ù¿¡ ´ëÇØ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ ¹ß±¤ÀÌ ºñ¼±ÇüÀ¸·Î Áõ´ëÇÑ´Ù´Â »ç½ÇÀ» ¹ß°ßÇß´Ù. ¿©±â¼­ ÈùÆ®¸¦ ¾ò¾î È°¼ºÃþÀÇ µÎ²²¸¦ ÀüÀÚ¿Í Á¤°ø, ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚÀÇ È®»ê ±æÀ̱îÁö Å°¿ö Á¢ÇÕ °è¸é¿¡¼­ ºÐ¸®ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ°Ú´Ù´Â ÀÇ°ßÀ» ¼ö·ÅÇØ iÃþÀÇ µÎ²²¸¦ 100 §¬ Á¤µµ¿¡¼­ ´Ü¹ø¿¡ ÇÑ ÀÚ¸´¼ö ÀÌ»ó(£¾1 §­) µÎ²®°Ô Çß´Ù. µÎ²¨¿î iÃþ°ú °íÇ°Áú iÃþ È£¸ð ¿¡ÇÇÅÃ½Ã¾ó ¼ºÀå ±â¼ú, °í³óµµ ºÒ¼ø¹° µµÇÎ ±â¼ú µîÀÌ °á½ÇÀ» ¸Î¾î °á°úÀûÀ¸·Î ±³°ú¼­¿¡ ³ª¿À´Â ´ë·Î ºôÆ®ÀÎ Àü¾ÐÀ» º¸ÀÌ´Â ¥°-¥´ Ư¼ºÀ» ¾ò¾ú´Ù. ´ëÀü·ù ¹Ðµµ¿¡¼­ µ¿ÀÛÀÌ °¡´ÉÇØÁö°í, [±×¸² 4]¿Í °°ÀÌ °£Á¢ ÀüÀÌÇüÀ̶ó°í´Â »ý°¢µÇÁö ¾Ê´Â »ó´çÈ÷ ¿¹¸®ÇÑ ¹êµå´Ü ¹ß±¤(ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ ¹ß±¤) ½ºÆåÆ®·³À» ¾ò¾ú´Ù([±×¸² 3]µµ ÂüÁ¶).

ÀÌ °á°ú´Â »ó´çÈ÷ Å« µ¹Æı¸ ¿ªÇÒÀ» Çß´Ù. ½ÇÁ¦·Î iÃþ¿¡´Â ¾ÆÁ÷ ¸¹Àº °áÇÔÀÌ Á¸ÀçÇÏ°í, °áÇÔ¿¡¼­ÀÇ Àç°áÇÕÀ¸·Î ·¹ÀÌÀú ±¤ ¿©±â(Photoluminescence: PL)¿¡ ÀÇÇÑ ÃøÁ¤¿¡¼­´Â [±×¸² 4]ÀÇ °á°ú¿¡¼­ ¿¹ÃøµÇ´Â °Íº¸´Ù ª°Ô ¼ö¸íÀÌ 10§À ÀÌÇÏÀÎ º¸°íµµ ÀÖ¾ú´Ù. ¹Ý¸é, ½ÉÀڿܼ± LED¿¡¼­´Â ÁÖÀÔ Àü·ù¿¡ µû¶ó ¹ß±¤ ½ºÆåÆ®·³ÀÌ º¯ÇÏ°í ´ëÀü·ù µ¿ÀÛÀÌ µÉ ¸¸Å­ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚÀÇ ¹ß±¤ °­µµ°¡ Áõ´ëÇß´Ù.

ÀÌ´Â ¸¶Å°³ë ¿¬±¸ÁøÀÌ °áÇÔÀÇ ¿©±â ÁØÀ§¸¦ °í·ÁÇÑ ¸ðµ¨·Î ¼³¸íÇß´Ù. °ÅÄ¥Áö¸¸ °£´ÜÇÏ°Ô ¼­¼úÇØ º¸¸é ¼ÒÀü·ù ½Ã¿¡´Â ÀüÀÚ ¶Ç´Â Á¤°øÀÌ ÂªÀº À¯ÇÑÀÇ ½Ã°£(£¼10 §À)¿¡ °áÇÔ¿¡¼­ Àç°áÇÕÇÏÁö¸¸, ´ëÀü·ù ½Ã¿¡´Â °áÇÔ¿¡¼­ÀÇ Àç°áÇÕ ½Ã°£ ³»¿¡ ´ë·®ÀÇ ÀüÀÚ·Á¤°øÀÌ ÁÖÀԵŠÀÚÀ¯ ÀüÀÚ·Á¤°ø°ú ÇÔ²² ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚ°¡ °í³óµµ·Î ½×ÀÌ´Â °ÍÀ¸·Î º¸¾Ò´Ù. À̸¦ [±×¸² 4]¿Í °°ÀÌ ÀÚÀ¯ ¿©±âÀÚÀÇ ¹ß±¤ °­µµ°¡ ÁÖÀÔ Àü·ùÀÇ Áõ°¡¿¡ µû¶ó ºñ¼±ÇüÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ´Â ¸ÞÄ¿´ÏÁòÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. ÈçÈ÷ ¼ÒÀÚ Æ¯¼ºÀº °áÇÔ¿¡ Áö¹èµÇ´Âµ¥ ¾î´À Á¤µµ °áÇÔÀÌ À־ ´ëÀü·ù µ¿ÀÛ¿¡ ÀÇÇØ °áÇÔ¿¡ Áö¹èµÇÁö ¾Ê´Â´Ù´Â °ÍÀ» ³ªÅ¸³»¸ç, ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ¹ÙÀÌÆú·¯ ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ°¡ ÆÄ¿ö ¼ÒÀÚ³ª ´ëÃâ·Â ¹ß±¤ ¼ÒÀÚ¿¡ À¯¸®ÇÑ ¹°¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù´Â °ÍÀ» º¸¿©ÁØ´Ù. ¹°·Ð °áÇÔÀÌ ÀûÀº °ÍÀÌ ³·Àº Àü·ù¿¡¼­ ´ÙÀ̾Ƹóµå º»·¡ÀÇ ¹ß±¤À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ¾î ÁÁ±â´Â ÇÏ´Ù. ÀÌ °°Àº ¼ºÁúÀº ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼¿¡¼­´Â º¸ÀÌÁö ¾Ê´Â ´ÙÀ̾Ƹóµå ¹ÝµµÃ¼¸¸ÀÇ Æ¯Â¡À̶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

¼ö¼Ò Á¾´Ü Ç¥¸é¿¡¼­´Â ź¼Ò ¿øÀÚ°¡ ¼ö¼Ò ¿øÀÚº¸´Ù Àü±â À½¼ºµµ°¡ Å©´Ù´Â Á¡¿¡¼­ ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Æ¯Â¡ÀÎ À½ÀüÀÚ Ä£È­·Â(Negative Electron Affinity: NEA)ÀÌ »ý±ä´Ù. Áï, [±×¸² 5]¿¡¼­ º¸µíÀÌ Àüµµ´ëÀÇ ÀÚÀ¯ ÀüÀڴ ǥ¸é¿¡ ¿¡³ÊÁö À庮ÀÌ ¾ø¾î ¿ÜºÎ·Î »õ¾î ³ª°£´Ù.

ÇÊÀÚµéÀº ¾Õ¼­ ¾ð±ÞÇÑ p-i-nÇü ½ÉÀڿܼ± LED ¿¬±¸¿¡¼­ p-i-nÇü ´ÙÀ̾Ƹóµå ´ÙÀÌ¿ÀµåÀÇ ½Ç¿Â ´ëÀü·ùÈ­ÀÇ ±â¼úÀû ±æÀ» ã¾Æ³Â´Ù. ´ëÀü·ù µ¿ÀÛÀÌ °¡´ÉÇÑ p-i-nÇü ´ÙÀ̾Ƹóµå ´ÙÀÌ¿Àµå Ç¥¸éÀ» NEA »óÅ·ΠÇØ Áö¸§ÀÌ 150 §­ Á¤µµÀÎ ´ÙÀÌ¿Àµå·ÎºÎÅÍ 1 §Ì ÀÌ»óÀÇ ÀüÀÚ ¹æÃâ Àü·ù¸¦ ¾ò¾úÀ¸¸ç, ¼ÒÀÚ ¸éÀûÀ¸·Î ȯ»êÇϸé 4 A/§²°¡ ³Ñ´Â ÀüÀÚ ¹æÃâ Àü·ù¸¦ ¾ò¾ú´Ù. À̸¦ ¹ßÀü½ÃÄÑ ÀÌ ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ NEA ÀüÀÚ¿øÀ» 10 §ÇÀÇ °í¾Ð ȸ·Î¿¡¼­ ºÎÇÏ ÀúÇ×°ú ÇÔ²² ½ºÀ§Ä¡·Î µ¿ÀÛ½ÃÅ°´Â ½ÇÇèÀ» ÇÑ °á°ú, ¿Â·¿ÀÇÁÀÇ ½ºÀ§Äª ÆÄÇüÀ» ¾ò¾ú´Ù. ´ëÀü¾Ð, °í¼ÓÀÇ Áø°ø ½ºÀ§Ä¡¿¡ µ¹Æı¸ ¿ªÇÒÀ» ÇÏÁö ¾ÊÀ»±î ±â´ëÇÏ¸ç ¿¬±¸¸¦ °è¼ÓÇÏ°í ÀÖ´Ù.

±íÀº °áÇÔ ÁØÀ§(deep level)·Î ÀÎÇØ ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ º»·¡ Ư¼ºÀ» ¾òÁö ¸øÇÑ ¿ª»çµµ ÀÖÁö¸¸, °áÇÔ ÁØÀ§¿¡ ¼ÒÀÚ ±â´ÉÀ» ã¾Æ³½ µ¶ÀÏÀÇ ºê¶óÈåÆ®·¯ÇÁ(J. Wrachtrup) ¿¬±¸ÁøÀÇ ¹ßÇ¥´Â Å« µ¹Æı¸°¡ µÅ ¼¼°è À¯¼öÀÇ ¹°¸®ÇÐÀÚµéÀÇ °æÀïÀ» ºÎÃß°å´Ù. Áú¼Ò(N)¿Í ºóÀÚ¸®(Vacancy)·Î ÀÌ·ïÁø º¹ÇÕ °áÇÔ¿¡¼­ NV¼¾ÅͶó ºÒ¸®´Â ÀÌ °áÇÔÀº À½(-)¿¡ ´ëÀüÇϸé ÀüÀÚ½ºÇÉÀ» °¡Áö´Âµ¥, Æø³ÐÀº ¹êµå°¸°ú ³·Àº À¯ÀüÀ²À̶ó´Â ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ºñÈ£ ¾Æ·¡ Èí»ç Áø°ø ¼Ó¿¡ ÀÖ´Â ÇϳªÀÇ ½ºÇÉó·³ ¿ä¶õÇÏ°Ô °­ÇÑ ¾çÀÚ ºñÆ®·Î ÇൿÇÑ´Ù. °Ô´Ù°¡ °ø¸í ¿¡³ÊÁö¸¦ °Ü³ÉÇØ ·¹ÀÌÀú ±¤¿¡ ÀÇÇÑ ¾çÀÚ »óÅÂÀÇ ÃʱâÈ­¿Í »óÅ Æǵ¶, ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ¿¡ ÀÇÇÑ ½ºÇÉ Á¶ÀÛÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ¿ø¸®ÀûÀ¸·Î ¾çÀÚ ¿¬»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.

Áö±Ý±îÁö ¾ð±ÞÇÏÁö ¾ÊÀº ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Áß¿äÇÑ ¼ºÁúÀº ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ È­ÇÐÀûÀ¸·Î ¾ÈÁ¤µÈ °áÁ¤À̶ó´Â °ÍÀÌ´Ù. ÃÖ±Ù ¿¬±¸¿¡ µû¸£¸é ÀçÇ¥¸éÀÇ ¿øÀÚ ¼öÁØ¿¡¼­ È­ÇÐ ¹ÝÀÀÀ» Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ƯÈ÷ Ç¥¸éÀûÀÌ Å« ³ª³ë ÀÔÀÚ³ª ±×·¯ÇÑ ÀÔÀÚµé·Î ÀÌ·ïÁø ³ª³ë °áÁ¤ ¹Ú¸·¿¡¼­´Â sp2 ¼ººÐÀÇ È¥ÇÕ°ú ´õºÒ¾î ±¤È­ÇÐ ¶Ç´Â Àü±âÈ­ÇÐÀûÀ¸·Î È­ÇÐÀû ºÐÀÚ ¼ö½ÄÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù´Â °ÍÀÌ º¸°íµÆ´Ù. ÀÌ°ÍÀÌ µ¹Æı¸°¡ µÅ DNA³ª ´Ü¹éÁú °°Àº °íºÐÀÚ ¼ö½Ä, Ç¥¸é ÀüµµÃþÀ» ÀÌ¿ëÇÑ È­ÇÐ ¼¾¼­, Àü±âÈ­ÇÐ Àü±Ø µîÀ¸·Î ÀÀ¿ë ¿¬±¸°¡ È°¹ßÈ÷ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù.

BJT, JFET, ¹ÝÀüÃþÇü MOSFET
³¡À¸·Î, Áß¿äÇÑ µ¹Æı¸°¡ µÈ ±â¼úµéÀ» »ìÆ캸¾Ò´Ù. pn Á¢ÇÕ ´ÙÀÌ¿Àµå ´ÙÀ½À¸·Î ´ç¿¬È÷ ¸ñÇ¥·Î ÇØ¾ß ÇÒ ¹ÙÀÌÆú¶ó Á¢ÇÕ Æ®·£Áö½ºÅÍ(Bipolar Junction Transistor: BJT)´Â »ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ¿¬±¸¼ÒÀÇ °¡Åä·¿À¾ß¸¶ ¿¬±¸ÁøÀÌ p-n-pÇü¿¡¼­ ¼º°øÇß´Ù. Á¢ÇÕ Æ¯¼ºÀ» ³ôÀ̱â À§ÇØ pn Á¢ÇÕ °è¸é¿¡ iÃþÀ» È°¿ëÇß´Ù. ¶ÇÇÑ, ÀúÇ×ÀÌ ³ôÀº nÇü ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ °ÔÀÌÆ® ÀúÇ×À» ³·Ãß±â À§ÇØ ÀÎ µµÇÎÀÇ ¸é ÀÇÁ¸¼ºÀ» öÀúÈ÷ »ìÆì {100}¸é»ó °í³óµµ ÀÎ µµÇÎ ¼±Åà »ðÀÔ ¼ºÀå¹ýÀ» °³¹ßÇßÀ¸¸ç, ÇÁ·Î¼¼½º ±â¼úÀÇ ÃàÀû ¿ª½Ã ¼º°ú¸¦ °ÅµÐ ¿äÀÎÀ̾ú´Ù.

ÀÌ¾î µµÄì°ø¾÷´ëÇб³ÀÇ È£½Ã³ë·ÀÌ¿Í»çÅ°·ÇÏŸ³ë ¿¬±¸ÁøÀÌ BJT¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î ¿ä¼Ò ±â¼úÀ» Áý´ë¼ºÇØ Á¢ÇÕÇü Àü°è È¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ(Junction Field-Effect Transistor: JFET)¸¦ ¿òÁ÷¿´´Ù. °Ô´Ù°¡ Áß¿äÇÑ µ¹Æı¸·Î¼­ °¡³ªÀÚ¿Í´ëÇб³ÀÇ ¸¶¾²¸ðÅä ¿¬±¸ÁøÀÌ ¸¶Ä§³» ÆÄ¿ö MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor FET)¿Í IGBT(Insulated-Gate Bipolar Transistor)¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ±âº» ±¸Á¶ÀÎ ¹ÝÀüÃþÇü MOSFETÀÇ µ¿ÀÛ ½ÇÁõÀ» ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ¼º°øÇß´Ù. ÀÌ´Â °íÇ°Áú Àú³óµµ nÇü CVD ¼ºÀå ±â¼ú, °í³óµµ nÇü ¼±Åà ¼ºÀå ±â¼ú, °íÇ°Áú Ç¥¸é »êÈ­ ±â¼ú, ÇÁ·Î¼¼½º ±â¼úÀÌ º¹ÇÕÀûÀ¸·Î »õ·Ó°Ô ¸¸µé¾î³½ °á°úÀÌ´Ù.

Æ®À­ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ

< Energy News >


Copyright(ÁÖ)Àü¿ì¹®È­»ç All rights reserved.