Category Article
[ÀÚ¸³Çü MEMS ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©¸¦ È°¿ëÇÑ ¿¡³ÊÁö Àý¾à ¨è] ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©¿ë ÀúÀü·Â ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î ±â¼úÀÇ °³¹ß
2017-11-01

[ÀÚ¸³Çü MEMS ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©¸¦ È°¿ëÇÑ ¿¡³ÊÁö Àý¾à ¨è]
¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©¿ë ÀúÀü·Â ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î ±â¼úÀÇ °³¹ß


NEDOÀÇ °øµ¿ ¿¬±¸°³¹ß ÇÁ·ÎÁ§Æ®·Î¼­, ȯ°æ¹ßÀü ¿¡³ÊÁö·Î µ¿ÀÛÇÏ´Â ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå¸¦ ½ÇÇöÇÏ´Â ¿ä¼Ò±â¼ú Áß ÇϳªÀÎ ‘ÀúÀü·Â ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î ±â¼ú’¿¡ ´ëÇØ ¼Ò°³ÇÑ´Ù.
Á¤¸® ÆíÁýºÎ

CO©ü¹èÃâ·® Àý°¨¿¡ ´ëÇÑ ¼¼°èÀû °ü½ÉÀÌ °íÁ¶µÇ¸é¼­ °¢Á¾ ±â±â·¼³ºñ ºÐ¾ß¿¡¼­ ¿¡³ÊÁö Àý¾àÈ­ÀÇ Á߿伺ÀÌ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù. ±× ¿¡³ÊÁö Àý¾àÈ­ÀÇ À¯·ÂÇÑ ¹æ¹ý Áß Çϳª·Î¼­ ¼¾¼­¸¦ È°¿ëÇÑ ¡¸°¡½ÃÈ­¡¹°¡ ÀÖ´Ù. ¿©·¯ °³ÀÇ ¼¾¼­¸¦ È°¿ëÇÏ¸é ±â±âº° ¼Òºñ¿¡³ÊÁö ¹× ¿Â½Àµµ µîÀÇ È¯°æÁ¤º¸¸¦ °¡½ÃÈ­ÇÏ°í ±× °¡½ÃÈ­ÇÑ Á¤º¸¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î °¢Á¾ ±â±â·¼³ºñÀÇ ÃÖÀû Á¦¾î¸¦ ½ÇÇöÇÔÀ¸·Î½á ¿¡³ÊÁö Àý¾àÈ­¸¦ ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¼¾¼­¿¡ ÀÇÇÑ °¡½ÃÈ­ÀÇ ½ÇÇö¿¡´Â ¼¾¼­¸¦ žÀçÇÑ ¼ÒÇü ¹«¼±´Ü¸»(¹«¼± ¼¾¼­³ëµå)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼¾¼­·ÎºÎÅÍÀÇ Á¤º¸¸¦ ¹«¹è¼±À¸·Î ¼öÁýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹«¼± ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ±â¼úÀÇ Àû¿ëÀÌ À¯È¿ÇÏ´Ù. ÀÌ°ÍÀº ¿©·¯ °³ÀÇ ¼¾¼­¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ´Â °ÍÀÌ À¯¼±À¸·Î ¼³Ä¡ÇÏ´Â °Í¿¡ ºñÇØ ¼³Ä¡Àå¼Ò¿¡ ´ëÇÑ Á¦ÇÑÀÌ Àû°í, ¼³Ä¡°ø»çÀÇ ºñ¿ëÀÌ Àý°¨µÇ´Â µî
 ´õ À¯¸®Çϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
±×·¯³ª ¹«¼± ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©ÀÇ µµÀÔÀº ÀϺΠºÐ¾ß¿¡ ¸Ó¹°·¯ ÀÖ¾î ³Î¸® º¸±ÞµÇÁö ¸øÇÏ°í ÀÖ´Ù. º¸±ÞÀ» °¡·Î¸·´Â Å« ¿äÀÎ Áß Çϳª·Î ³ôÀº ·¯´×ÄÚ½ºÆ®¸¦ µé ¼ö ÀÖ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ ¹«¼± ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©¿¡¼­´Â °¢ ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå¿¡ ´ëÇØ ¼ö°³¿ù¿¡¼­ ¼ö³â¸¶´Ù ÀüÁö±³È¯ µîÀÇ À¯Áö°ü¸®°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. µû¶ó¼­ ¿©·¯ °³ÀÇ ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ´Â °æ¿ì ¸ÞÀÎÅͳͽº(maintenance) ºñ¿ëÀÌ ¸·´ëÇØÁø´Ù.
ÀÌ ¹«¼± ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©ÀÇ ·¯´×ÄÚ½ºÆ®¸¦ Àú°¨ÇÏ´Â ±â¼ú·Î¼­ ȯ°æ¹ßÀü ±â¼úÀÌ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù. Áøµ¿, ¿­, ½Ç³»±¤ µî ȯ°æ ¼Ó¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â ¿¡³ÊÁö·Î µ¿ÀÛ °¡´ÉÇÑ ¹èÅ͸® ¾ø´Â ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå¸¦ ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù¸é ¸ÞÀÎÅͳͽº ÇÁ¸®(maintenance free) Àú·¯´×ÄÚ½ºÆ® ¹«¼± ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©°¡ ±¸Ãà °¡´ÉÇÏ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¹è°æÇÏ¿¡ ½Å¿¡³ÊÁö·»ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ°³¹ß±â±¸(NEDO) °³¹ßÆÀÀº °¢Á¾ »óÁ¡°ú »ç¹«½Ç, °øÀå µîÀÇ È¯°æ, ¿¡³ÊÁö ¼Òºñ·® µîÀÇ °¡½ÃÈ­¸¦ ½ÇÇöÇÏ°í ¿¡³ÊÁö Àý¾àÈ­(±×¸°È­)¸¦ ÃßÁøÇϴ ȯ°æ¹ßÀü(energy harvesting, ¿¡³ÊÁö ÇϺ£½ºÆÃ)À» ÀÌ¿ëÇÑ ¹«¼± ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛ, ¡¸±×¸° ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛ¡¹ÀÇ ½ÇÇöÀ» ¸ñÇ¥·Î ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. [±×¸² 1]¿¡ ¡¸±×¸° ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛ¡¹ÀÇ °³·«µµ¸¦ ³ªÅ¸³Â´Ù. ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå´Â ȯ°æ¹ßÀüÀ¸·Î ¾ò¾îÁø ¿¡³ÊÁö¸¸À» »ç¿ëÇÏ¿© ¼¾¼­¿¡ ÀÇÇØ È¯°æÁ¤º¸¸¦ ÃëµæÇÏ°í ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î·Î ½Åȣó¸®(ÁõÆø·¾Æ³¯·Î±× µðÁöÅÐ º¯È¯)¸¦ ½Ç½ÃÇÏ¿© ¹«¼±À¸·Î ¼Û½ÅÇÑ´Ù. ¼Û½ÅµÈ ȯ°æÁ¤º¸´Â ¼ö½Å±â¸¦ ÅëÇØ ³×Æ®¿öÅ©»ó¿¡¼­ ó¸®µÇ¾î ¡¸°¡½ÃÈ­¡¹¿Í Á¦¾î¿¡ ´ëÇÑ Çǵå¹éÀ» ½Ç½ÃÇÑ´Ù.


ÀÌ ¡¸±×¸° ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛ¡¹À» ½ÇÇöÇÏ´Â µ¥ ÀÖ¾î °¡Àå Å« ±â¼úÀû °úÁ¦´Â ȯ°æ¹ßÀü ½ÃÀÇ ¹Ì¼Ò(Ú°á³)ÇÏ°í ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ ¿¡³ÊÁö·Î µ¿ÀÛÇÏ´Â ¹«¼± ¼¾¼­³ëµåÀÇ ½ÇÇöÀÌ´Ù. ȯ°æ¹ßÀüÀº ´Ù¾çÇÑ ¹æ½ÄÀ¸·Î ¹ßÀüÈ¿À²ÀÌ Áõ°¡ÇØ ¿ÔÁö¸¸ ȯ°æ ¼Ó¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â ¿¡³ÊÁö°¡ À۱⠶§¹®¿¡ ±× ¼ö´Ü·¹æ½Ä¿¡ °ü°è¾øÀÌ ¹ßÀü·®ÀÌ ¸Å¿ì Àû°Ô µÈ´Ù. µû¶ó¼­ ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå·Î È°¿ë °¡´ÉÇÑ ¼öcm Á¤µµ Å©±âÀÇ È¯°æ¹ßÀü¼ÒÀÚ¿¡¼­´Â ´ëü·Î ¼ö §Ð~100§Ð Á¤µµÀÇ ¹Ì¼ÒÇÑ ¿¡³ÊÁö¹Û¿¡ ¾òÁö ¸øÇÏ´Â °ÍÀÌ Çö½ÇÀÌ´Ù. ¶Ç ´Ã ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ¿¡³ÊÁö¸¦ ¾òÀ» ¼ö Àִ ȯ°æÀÌ ÀϹÝÀûÀ¸·Î Àû±â ¶§¹®¿¡ ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ ¿¡³ÊÁö °ø±ÞÀ» ÃÊ·¡ÇÏ¿© »ç¿ë °¡´ÉÇÑ ¿¡³ÊÁöÀÇ ¾çÀº ´õ¿í ÇÑÁ¤µÈ´Ù. ÇÑÆí, ¼öm ÀÌ»óÀÌ µÇ´Â °Å¸®ÀÇ ¹«¼±¼Û½ÅÀ» ½Ç½ÃÇÏ·Á¸é ªÀº ½Ã°£À̱ä ÇÏÁö¸¸ Àû¾îµµ ¼ö 10§Ñ±ÞÀÇ ¿¡³ÊÁö¸¦ ¼ÒºñÇÑ´Ù. ¶Ç ¼¾¼­ ¹× ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Îµµ ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¼ö §Ñ ÀÌ»óÀÇ ¿¡³ÊÁö¸¦ ¼ÒºñÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸¹´Ù. µû¶ó¼­ ¹Ì¼ÒÇÏ°í ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ È¯°æ¿¡³ÊÁö¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå¸¦ ½ÇÇöÇϱâ À§Çؼ­´Â ±× ±¸¼º¿ä¼Ò ÀüüÀÇ ¼ÒºñÀü·ÂÀ» ÃÖ´ëÇÑ ÀúÀü·ÂÈ­ÇÏ°í, ¾Æ¿ï·¯ ÃàÀü ¹× °£Ç浿ÀÛ µîÀÇ ½Ã½ºÅÛ µ¿ÀÛÀ» ȯ°æ¹ßÀü¿¡ ÃÖÀûÈ­½ÃÄÑ ¹Ì¼ÒÇÑ ¿¡³ÊÁö¸¦ È¿À²ÀûÀ¸·Î È°¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù. ¶Ç ±× ¹«¼± ¼¾¼­³ëµåÀÇ µ¿ÀÛ¿¡ ¸ÂÃç ÀüüÀûÀÎ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛÀÇ ±¸Ãà ¹× ÃÖÀûÈ­ ÀÛ¾÷µµ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
º»°í¿¡¼­´Â »ó±âÀÇ ±â¼úÀû °úÁ¦ ÇØ°áÀ» À§ÇØ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Â ¿ä¼Ò±â¼ú Áß ÇϳªÀÎ ÀúÀü·Â ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î ±â¼ú¿¡ ´ëÇØ ¼Ò°³ÇÑ´Ù. 

¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ ÀúÀü·ÂÈ­
¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î
½Å¿¡³ÊÁö·»ê¾÷±â¼úÁ¾ÇÕ°³¹ß±â±¸(NEDO) °³¹ßÆÀÀº ±×¸° ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛ¿¡¼­ ¹«¼± ¼¾¼­³ëµåÀÇ Çʼö ±¸¼º¿ä¼ÒÀÎ ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ ÀúÀü·ÂÈ­¿¡ ÁÖ·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù. °³¹ß ÁßÀÇ ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î´Â °¢Á¾ ¼¾¼­°¡ Ãâ·ÂÇÏ´Â ¾Æ³¯·Î±× ½ÅÈ£¸¦ ÁõÆø½ÃÅ°°í, ¾Æ³¯·Î±×-µðÁöÅÐ º¯È¯À» ¼öÇàÇϴ ȸ·Î(ADC)ÀÌ´Ù. ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ ¼º´ÉÀº ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå¿¡ ÀÇÇÑ ÃøÁ¤ Á¤¹Ðµµ¸¦ °áÁ¤Áþ°Ô µÈ´Ù. µû¶ó¼­ ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå¸¦ ½Ç¿ëÀûÀ¸·Î È°¿ëÇÏ·Á¸é ÃøÁ¤´ë»óÀ» °¨¾ÈÇÑ ÇÊ¿ä ÃæºÐÇÑ Á¤¹Ðµµ¸¦ °¡Áö°í ÀÖ¾î¾ß ÇÑ´Ù. ¶Ç ÃøÁ¤ÇÑ ½ÅÈ£ÀÇ µðÁöÅÐÈ­´Â ¹«¼±¼Û½ÅÀ» ½Ç½ÃÇÏ´Â µ¥ ÀÖ¾î ÇʼöÀûÀÌ´Ù.
°³¹ßÆÀÀº ȯ°æ¹ßÀüÀÇ ¹ßÀü·®¿¡ ±Ù°ÅÇÏ¿© ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ ¼ÒºñÀü·Â ¸ñǥġ¸¦ 1ÃÊ¿¡ 1ȸ ¼¾¼­ ÃøÁ¤ ½Ã 10§Ð ÀÌÇÏ·Î Çß´Ù. ¶Ç ±×¸° ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛ¿¡¼­ Àû¿ëÇÏ´Â ¿Â½Àµµ, ¼ÒºñÀü·ù, Àû¿Ü¼±, °¡½º µî ´Ù¾çÇÑ ¼¾¼­¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â °ÍÀ» °¨¾ÈÇÏ¿© ÃøÁ¤ Á¤¹Ðµµ´Â Ç®½ºÄÉÀÏ(Full Scale) ´ëºñ ¾à 0.05% ÀÌÇÏ(11bit ÀÌ»ó)¸¦ ¸ñÇ¥·Î °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ ¸ñÇ¥¸¦ ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇØ °³¹ßÆÀÀº ¹«¼± ¼¾¼­³ëµåÀÇ µ¿ÀÛ¿¡ ÃÖÀûÈ­µÈ ȸ·Î ½Ã½ºÅÛÀÇ ±¸ÃàÀ» °ËÅäÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ Á¤¹Ðµµ ¹× ÃøÁ¤¼Óµµ¿Í °°Àº ¼º´ÉÀº ¼ÒºñÀü·Â°ú Æ®·¹ÀÌµå ¿ÀÇÁÀÇ °ü°è¿¡ ÀÖ´Ù. µû¶ó¼­ ÀÏ¹Ý È¸·ÎÀÇ ÀúÀü·ÂÈ­ ±â¹ý¸¸À¸·Î´Â ¸ñÇ¥´Þ¼ºÀÌ ¾î·Æ´Ù. ¸ñÇ¥´Þ¼ºÀ» À§Çؼ­´Â ¹«¼± ¼¾¼­³ëµåÀÇ ¹ßÀü·®, ÃàÀü½Ã°£ ¹× ¹«¼±¼Û½Åºóµµ µîÀ» °¨¾ÈÇÑ È¸·Î ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÏ¿© ¹«¼± ¼¾¼­³ëµåÀÇ Æò±Õ ¼ÒºñÀü·ÂÀ» Àú°¨ÇÏ´Â °ÍÀÌ À¯È¿ÇÏ´Ù. ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î´Â ¼¾¼­ ÃøÁ¤ÀÇ ´Ü½Ã°£È­ ¹× ¾Æ³¯·Î±×-µðÁöÅÐ º¯È¯ °á°ú¿¡ ´ëÇÑ µðÁöÅÐ º¸Á¤±â¼ú, ÀÌ µÎ °¡Áö¸¦ Àû¿ëÇÑ ÀúÀü·Â ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î¸¦ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌÇÏ¿¡ ÀÌ 2°¡Áö °ËÅä ³»¿ë¿¡ ´ëÇÑ °³¿ä¸¦ Á¤¸®ÇÑ´Ù.

¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ ´Ü½Ã°£ µ¿ÀÛÈ­
¹«¼± ¼¾¼­³ëµåÀÇ µ¿ÀÛ¿¡ ÃÖÀûÈ­µÈ ȸ·Î ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇϱâ À§ÇØ ¼¾¼­ ÃøÁ¤ÀÇ ´Ü½Ã°£È­¿¡ ´ëÇÑ °ËÅ並 ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù.
[±×¸² 2](a)´Â ÀϹÝÀûÀÎ ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå¿¡¼­ ¼¾¼­ ÃøÁ¤À» 1ȸ ½Ç½ÃÇßÀ» ¶§ÀÇ ¼ÒºñÀü·ÂÀÇ ½Ã°£º¯È­¸¦ ³ªÅ¸³½ ¸ð½ÄµµÀÌ´Ù. ȾÃàÀÌ ½Ã°£, Á¾ÃàÀÌ ¼ÒºñÀü·ÂÀ̸ç, ¼¾¼­ ÃøÁ¤¿¡ °üÇÑ ÃÑ ¼ÒºñÀü·ÂÀº ¸éÀû¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù. ´ëºÎºÐÀÇ ½Ã°£Àº ½½¸³ »óÅÂ(ÀýÀü ¸ðµå)·Î ÀüȯµÇ¾î ¼ÒºñÀü·ÂÀ» Àý¾àÇÑ´Ù. ÃøÁ¤À» °³½ÃÇÏ¸é ¼¾¼­ ¹× ÁõÆøȸ·Î µîÀÇ °¢ ȸ·Î´Â Å« ¿¡³ÊÁö¸¦ ¼ÒºñÇϱ⠽ÃÀÛÇÑ´Ù. ±×¸®°í ¼¾¼­ ¹× ÁõÆøȸ·Î°¡ ¾ÈÁ¤µÇ°í ³ª¸é ¾Æ³¯·Î±×-µðÁöÅÐ º¯È¯À» ½Ç½ÃÇÏ°í º¯È¯ ¿Ï·á ÈÄ ´Ù½Ã ½½¸³ »óÅ·ΠÀÌÇàµÇ¾î ¼ÒºñÀü·ÂÀ» Àý¾àÇÑ´Ù.
ÀÌ ¼¾¼­ ÃøÁ¤¿¡ °üÇÑ ÀÏ·ÃÀÇ µ¿ÀÛÀ» °¨¾ÈÇÏ¸é ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ µ¿À۽ð£À» ´ÜÃàÇÔÀ¸·Î½á ¼ÒºñÀü·ÂÀÇ Àý¾à°ú µ¿½Ã¿¡ µ¿ÀÛÇÏ´Â ¼¾¼­ÀÇ ¼ÒºñÀü·Âµµ Àý°¨µÇ¾î ¹«¼± ¼¾¼­³ëµåÀÇ ÀüüÀûÀÎ ÀúÀü·ÂÈ­¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. [±×¸² 2](b)¿¡ °³¹ßÆÀ¿¡¼­ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â µ¿ÀÛÀÇ ¸ð½Äµµ¸¦ ³ªÅ¸³Â´Ù. ¼¾¼­ ±¸µ¿ ÈÄ ¾ÈÁ¤µÇ´Â °ÍÀ» ±â´Ù¸®°í ³ª¼­ ÁõÆøȸ·Î µîÀ» ±¸µ¿ÇÑ´Ù. ÁõÆøȸ·Î°¡ ¾ÈÁ¤µÈ ÈÄ ¾Æ³¯·Î±×-µðÁöÅÐ º¯È¯À» ½Ç½ÃÇÏ°í º¯È¯ ¿Ï·á¿Í µ¿½Ã¿¡ ¼¾¼­ ¹× ÁõÆøȸ·Î µîÀÇ Àü¿øÀ» Â÷´ÜÇÑ´Ù. ÀÌ¿Í °°ÀÌ ¼¾¼­ ¹× ȸ·ÎÀÇ µ¿À۽ð£À» ÃÖ¼ÒÈ­ÇÔÀ¸·Î½á ¼¾¼­ ÃøÁ¤µ¿ÀÛ ÀüüÀÇ Àú¼ÒºñÀü·ÂÈ­¸¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ °³¹ß ÄܼÁÆ® ¾Æ·¡ ¾Æ³¯·Î±×-µðÁöÅÐ º¯È¯ ȸ·Î(ADC)ÀÇ ÀúÀü·ÂÈ­¿Í ¾Æ¿ï·¯ º¯È¯½Ã°£ÀÇ ¸ñÇ¥¸¦ 1μsec·Î Çß´Ù. ¶Ç ÁõÆøȸ·Î, ADC, ¼¾¼­ÀÇ °¢ Àü¿øÀ» Á¦¾îÇϴ ȸ·Î¸¦ ÁýÀû, µ¿ÀÛ ¾ÈÁ¤ ½Ã°£À» Æ÷ÇÔÇÑ ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ ±âµ¿¿¡¼­ Á¾·á±îÁö¸¦ 500μsec ÀÌÇÏ·Î ¿Ï·áÇÏ´Â °ÍÀ» ¸ñÇ¥·Î °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù. À̸¦ ÅëÇØ ¼¾¼­ ÃøÁ¤¿¡ °üÇÑ Àü·ÂÀ» ±âÁ¸ ´ëºñ 50% ÀÌ»ó Àý°¨ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó´Â Àü¸ÁÀÌ ³ª¿À°í ÀÖ´Ù.

¼¾¼­ ÃøÁ¤°á°úÀÇ µðÁöÅÐ º¸Á¤¿¡ ÀÇÇÑ ÀúÀü·ÂÈ­
´ÙÀ½À¸·Î ADCÀÇ µðÁöÅÐ º¸Á¤±â¼ú Àû¿ë¿¡ ÀÇÇÑ ÀúÀü·ÂÈ­¿¡ °üÇØ ¼³¸íÇÑ´Ù. ¾Õ¿¡¼­ ¼³¸íÇÑ ¸ñÇ¥»ç¾çÀ» ´Þ¼ºÇϱâ À§Çؼ­´Â 11bit ÀÌ»óÀÇ Á¤¹Ðµµ¿¡ 1μsecÀÇ º¯È¯¼Óµµ¸¦ °¡Áø ADC°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ±×·¯³ª ADCÀÇ º¯È¯ Á¤¹Ðµµ ¹× º¯È¯¼Óµµ¿Í ¼ÒºñÀü·ÂÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î ºñ·Ê°ü°è¿¡
 ÀÖ´Ù. ÀÌ Á¡¿¡¼­ »ó±âÀÇ ¼º´ÉÀ» ½ÃÆÇÀÇ ADC·Î ±¸¼ºÇÒ °æ¿ì ¼ö 10§Ñ Á¤µµ·Î ¼ÒºñÀü·ÂÀÌ Ä¿Á®¹ö¸°´Ù.
NEDO °³¹ßÆÀÀº ADCÀÇ ¼ÒºñÀü·ÂÀ» Àý°¨Çϱâ À§ÇØ µðÁöÅÐ º¸Á¤±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹æ¾ÈÀ» °ËÅäÇß´Ù. µðÁöÅÐ º¸Á¤±â¼úÀº ÃÖ±Ù µé¾î ADCÀÇ °íºÐÇØ´ÉÈ­, °í¼ÓÈ­, ¹Ì¼¼ CMOS ȸ·ÎÀÇ Àû¿ë µîÀ» ¸ñÀûÀ¸·Î ´Ù¾çÇÑ ¹æ½ÄÀÌ Á¦¾ÈµÇ°í ÀÖ´Â ±â¼úÀÌ´Ù. °³¹ßÆÀÀº ±× Áß¿¡¼­ ºñ±³Àû °£¼ÒÇÑ È¸·Î·Î ADCÀÇ º¯È¯¿ÀÂ÷¸¦ º¸Á¤ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ» Àû¿ëÇØ ÀúÀü·ÂÈ­¸¦ °ËÅäÇÏ°í ÀÖ´Ù.
[±×¸² 3]¿¡ µðÁöÅÐ º¸Á¤±â¼ú¿¡ ÀÇÇÑ ÀúÀü·ÂÈ­ ±â¹ýÀÇ °³·«µµ¸¦ ³ªÅ¸³Â´Ù. ÀÌ È¸·Î ½Ã½ºÅÛÀº ÀúÀü·ÂÀÇ ADC¿Í ±× º¯È¯¿ÀÂ÷¸¦ ÃøÁ¤Çϱâ À§ÇÑ ½ÃÇè½ÅÈ£ »ý¼ºÈ¸·Î, ±×¸®°í º¯È¯¿ÀÂ÷¸¦ º¸Á¤ÇÏ´Â µðÁöÅÐ ¿¬»êȸ·Î·Î ±¸¼ºµÈ´Ù. ÀÌ ADC´Â ÀúÀü·ÂÈ­¸¦ À§Çؼ­ ºñ±³Àû Å« º¯È¯¿ÀÂ÷¸¦ °¡Áö°Ô ÇÏ¿´´Ù. ÁýÀûÇÑ ½ÃÇè½ÅÈ£ »ý¼ºÈ¸·Î¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ÀÌ ADCÀÇ º¯È¯¿ÀÂ÷¸¦ »çÀü¿¡ ÃøÁ¤ÇÏ°í, º¸Á¤Ä¡¸¦ °è»êÇÏ¿© ±â¾ïÇØ µÐ´Ù. ¼¾¼­ ½ÅÈ£¸¦ ÃøÁ¤ÇÒ ½Ã´Â ÀÌ ±â¾ïÇØ µÐ º¸Á¤Ä¡¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¾Æ³¯·Î±× µðÁöÅÐ º¯È¯°á°ú¸¦ º¸Á¤ÇÔÀ¸·Î½á ÇÊ¿äÇÑ Á¤¹ÐµµÀÇ º¯È¯°á°ú¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. °³¹ßÇÑ È¸·Î¿¡¼­´Â µðÁöÅÐ º¸Á¤Çϱâ Àü ´Ü°è¿¡¼­ º¯È¯ Á¤¹Ðµµ°¡ 10bit Á¤µµ°¡ µÇµµ·Ï ¼³°èÇÏ°í ÀÖ´Ù. Áï, ÀÌ ADC´Â 10bit Á¤µµÀÇ º¯È¯ Á¤¹Ðµµ¸¦ °®´Â ADC¿Í µ¿µîÀÇ ¼ÒºñÀü·ÂÀ» °¡Áö°Ô µÈ´Ù. ¶Ç µðÁöÅÐ º¸Á¤ °è»êÀº ´Ü¼øÇÑ ¼±Çü°è»êÀ¸·Î ½ÇÇà °¡´ÉÇϸç, ¼ÒºñÀü·ÂÀ¸·Î´Â °ÅÀÇ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿¬»ê·®ÀÌÁö¸¸ º¯È¯ Á¤¹Ðµµ¸¦ ¾à 2bit Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ÀÌ ¹æ½ÄÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¸é º¯È¯ Á¤¹Ðµµ 12bit Á¤µµÀÇ ¾Æ³¯·Î±×-µðÁöÅÐ º¯È¯À» 10bit »ó´çÀÇ ¼ÒºñÀü·ÂÀ¸·Î ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù.


[±×¸² 4]¿¡ ½ÃÇèÁ¦ÀÛÇÑ µðÁöÅÐ º¸Á¤±â´É žÀç ADC¸¦ Æò°¡ÇÑ °á°ú·Î¼­, ADC¿¡ 8kHz, 2.2Vpp(Â÷µ¿ÀÔ·Â), Ç®½ºÄÉÀÏÀÇ ¾à 90%)ÀÇ »çÀÎÆĸ¦ ÀÔ·ÂÇßÀ» ¶§ÀÇ ¾Æ³¯·Î±×-µðÁöÅÐ º¯È¯°á°úÀÇ ÆÄ¿ö ½ºÆåÆ®·³ ¹Ðµµ¸¦ ³ªÅ¸³Â´Ù. [±×¸² 4](a)´Â µðÁöÅÐ º¸Á¤ ÀüÀÇ ÆÄ¿ö ½ºÆåÆ®·³ ¹Ðµµ·Î, µðÁöÅÐ º¸Á¤ ÀüÀÇ À¯È¿ ºñÆ®¼ö´Â 10.4bit·Î Ãß»êµÇ¾ú´Ù. ´ÙÀ½À¸·Î [±×¸² 4](b)´Â [±×¸² 4](a)¿Í µ¿ÀÏÇÑ ½ÅÈ£¿¡ ´ëÇØ µðÁöÅÐ º¸Á¤ ¿¬»êÀ» ÇÑ ÈÄÀÇ ÆÄ¿ö ½ºÆåÆ®·³ ¹Ðµµ¸¦ ³ªÅ¸³½ °ÍÀÌ´Ù. µðÁöÅÐ º¸Á¤ ÈÄÀÇ À¯È¿ ºñÆ®¼ö´Â 12.4bit±îÁö Çâ»óµÇ¾î ¿¹»ó´ë·Î µðÁöÅÐ º¸Á¤¿¡ ÀÇÇØ °íÁ¤¹ÐµµÈ­°¡ ½ÇÇöµÇ°í ÀÖÀ½À» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ¶Ç ±× ¼ÒºñÀü·ÂÀº ¿¬¼Óµ¿ÀÛ ½Ã ¾à 2.5§Ñ¿´´Ù. ÀÌ°ÍÀº 10bitÀÇ ±âÁ¸ ADC¿Í ¾ùºñ½ÁÇÑ ¼ÒºñÀü·ÂÀ¸·Î µðÁöÅÐ º¸Á¤¿¡ ÀÇÇÑ ÀúÀü·ÂÈ­ È¿°úµµ È®ÀεǾú´Ù.

¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ ½ÃÇèÁ¦ÀÛ °á°ú
¸¶Áö¸·À¸·Î ¾Õ¼­ ¼³¸íÇÑ µðÁöÅÐ º¸Á¤ ADC¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·ÎÀÇ LSI ½ÃÇèÁ¦ÀÛ °á°ú¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇÑ´Ù. ½ÃÇèÁ¦ÀÛÇÑ ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå LSIĨ »çÁøÀ» [±×¸² 5]¿¡ ³ªÅ¸³Â´Ù. 0.13§­ÀÇ CMOS ÇÁ·Î¼¼½º·Î Á¦ÀÛÇÏ¿´À¸¸ç, Ĩ »çÀÌÁî´Â 3×3.3mmÀÌ´Ù. ÄÚ¾î µ¿ÀÛÀü¾ÐÀº 1.2V, ÃÖ´ë Ŭ·Ï ÁÖÆļö´Â 20MHzÀÌ´Ù. [Ç¥ 1]¿¡ °³¹ßÇÑ ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå LSI¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â °¢ ȸ·Î ¼ÒºñÀü·ÂÀÇ ÃøÁ¤°á°ú¸¦ ³ªÅ¸³Â´Ù.½ÃÇèÁ¦ÀÛÇÑ ¾Æ³¯·Î±× ÇÁ·±Æ® ¿£µå ȸ·Î¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¸ÅÃÊ 1ȸ ¼¾¼­ ÃøÁ¤ ½ÃÀÇ Æò±Õ ¼ÒºñÀü·ÂÀ» ÃøÁ¤ÇÑ °á°ú 1§Ð Á¤µµ°¡ ³ª¿Ô´Ù. À̴ ȯ°æ¹ßÀüÀ» Àû¿ëÇÑ ¹«¼± ¼¾¼­³ëµå·Î »ç¿ëÇϱ⿡ ÃæºÐÇÑ ÀúÀü·Â ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.


Æ®À­ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ

< Energy News >


Copyright(ÁÖ)Àü¿ì¹®È­»ç All rights reserved.