 ½Ç¸®ÄÜ ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ(SHJ) žçÀüÁöÀÇ °áÇÔ ÇüÅ ÃÖÃÊ·Î ±Ô¸í ¼º°ø µ¶ÀÚ±â¼ú·Î ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ÀûÃþÇü žçÀüÁö ±¸Çö ±â´ë Çѱ¹¿¡³ÊÁö±â¼ú¿¬±¸¿ø ž籤¿¬±¸´Ü ¼ÛÈñÀº ¹Ú»ç, ÃæºÏ´ëÇб³ ¹°¸®Çаú ±è°¡Çö ±³¼ö °øµ¿ ¿¬±¸ÆÀÀÌ ½Ç¸®ÄÜ ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ(SHJ) žçÀüÁö È¿À² ÀúÇÏÀÇ ¿äÀÎÀÎ °áÇÔÀÇ ÇüŸ¦ ÃÖÃÊ·Î ±Ô¸íÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. À̹ø ¿¬±¸°á°ú´Â °áÇÔÀ» ¾ïÁ¦ÇÏ´Â ‘ÆÐ½Ãº£ÀÌ¼Ç ±â¼ú’°ú ¿¬°èÇØ žçÀüÁö È¿À² Çâ»ó¿¡ Å©°Ô À̹ÙÁöÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
Á¤¸® ÆíÁýºÎ ÀÚ·áÁ¦°ø ¿¡³ÊÁö¿¬

’24³â ±âÁØ Å¾籤 ´©Àû ¼³Ä¡·®Àº 2.3TW¸¦ ´Þ¼ºÇßÀ¸¸ç, ’50³â±îÁö ´©Àû ¼³Ä¡¿ë·®Àº 15.3TW(ESS ¿¬°è Æ÷ÇÔ)¿¡ ´ÞÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ž籤 ¹ßÀüÀº ’50³â ±Û·Î¹ú °èÅ뿬°è Àü·Â »ý»ê·®ÀÇ 39%¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ¸ç, ź¼ÒÁ߸³ ±¸ÇöÀ» À§ÇÑ ÁÖ ¿¡³ÊÁö¿øÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
ž籤 ºÐ¾ß ¡¸Åº¼ÒÁ߸³ ±â¼úÇõ½ÅÀü·« ·Îµå¸Ê¡¹ ¹× ¡¸Á¦5Â÷ ¿¡³ÊÁö ±â¼ú°³¹ß °èȹ ±â¼ú ·Îµå¸Ê¡¹¿¡ µû¶ó, °íÈ¿À² žçÀüÁöÀÇ °³¹ß Çʿ伺ÀÌ ´ëµÎµÇ°í ÀÖ´Ù. žçÀüÁö ³»¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ °áÇÔÀº ¼Õ½ÇÀ» ÀÏÀ¸Å°°í, º¯È¯ È¿À²°ú Àü·Â ¹ß»ý·®À» °¨¼Ò½ÃŲ´Ù. À̸¦ ¹æÁöÇϱâ À§ÇÑ ¹æ¹ýÀ¸·Î Ç¥¸é ÄÚÆÃ µîÀÇ Ã³¸®¸¦ ÅëÇØ °áÇÔÀ» Á¦¾îÇÏ´Â ‘ÆÐ½Ãº£À̼Ç(passivation) ±â¼ú’ÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ÇØ´ç ±â¼úÀ» ¾Ë¸Â°Ô Àû¿ëÇϱâ À§Çؼ´Â °¢°¢ÀÇ Å¾çÀüÁö¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â °áÇÔÀÇ ÇüÅÂ¿Í Æ¯¼ºÀ» ¿Ïº®È÷ ÀÌÇØÇØ¾ß ÇÑ´Ù.

žçÀüÁöÀÇ °úµµÀÀ´ä Àüü ºÐ¼® ½ÉÃþÁØÀ§°úµµºÐ±¤(Deep Level Transient Spectroscopy, ÀÌÇÏ DLTS)À̶ó°í ºÎ¸£´Â ±âÁ¸ÀÇ °áÇÔ ºÐ¼®¹ýÀº žçÀüÁö¿¡ ¼ø°£ÀûÀ¸·Î Àü¾ÐÀ» °¡ÇØ ÀϽÃÀûÀ¸·Î ¼ºÁúÀÌ º¯ÇÑ »óÅ·Π¸¸µé°í, ¼ÒÀÚ°¡ Á¤»óÀ¸·Î µ¹¾Æ¿Ã ¶§±îÁöÀÇ ¹ÝÀÀ(ÀÌÇÏ °úµµÀÀ´ä)À» ÃøÁ¤ÇØ ºÐ¼®ÇÑ´Ù. ±×·¯³ª Àü¾ÐÀÌ °¡ÇØÁø ÈÄ Á¤»óÀ¸·Î µ¹¾Æ¿Ã ¶§±îÁöÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¹Ð¸®ÃÊ(1õºÐÀÇ 1ÃÊ) ¼öÁØÀ¸·Î ¸Å¿ì ª±â ¶§¹®¿¡, Àüü °úµµÀÀ´äÀ» ÃøÁ¤ÇÏÁö ¾Ê°í Àü¾ÐÀÌ °¡ÇØÁø Á÷ÈÄ¿Í Á¤»ó º¹±Í ½Ã °¢ 1¹ø¾¿¸¸ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ» Ȱ¿ëÇØ ¿Ô´Ù.
ÀÌ´Â ´Ü¼øÇÑ ±¸Á¶¸¦ Áö´Ñ ¼ÒÀÚÀÇ ºÐ¼®¿¡ ÀûÇÕÇÏÁö¸¸, Àüü °úµµÀÀ´äÀ» °üÂûÇÏÁö ¾Ê¾Æ SHJ žçÀüÁöó·³ º¹ÇÕÀûÀÎ °áÇÔÀ» °¡Áö´Â ¼ÒÀÚÀÇ ºÐ¼®¿¡´Â °É¸ÂÁö ¾Ê¾Ò´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ÃÖ±Ù±îÁöµµ SHJ žçÀüÁöÀÇ °áÇÔ°ú Ư¼ºÀº °£Á¢ÀûÀ¸·Î À¯ÃßÇÒ »Ó, ½Çü¸¦ ÆÄ¾ÇÇϱ⠾î·Á¿ü´Ù.
À̸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ¿¬±¸ÁøÀº ±âÁ¸ÀÇ ºÐ¼® ¹æ½ÄÀ» °íµµÈÇϰí žçÀüÁöÀÇ °úµµÀÀ´ä Àüü¸¦ ºÐ¼®ÇÏ´Â »õ·Î¿î ÇØ¼® ±â¹ýÀ» Á¦¾ÈÇß´Ù. À̸¦ ÅëÇØ ÃÖ±Ù±îÁö ÇÑ Á¾·ùÀÏ °ÍÀ¸·Î °¡Á¤Çß´ø SHJ žçÀüÁöÀÇ ÇÙ½É °áÇÔÀº »ç½Ç µÎ °¡ÁöÀÇ °áÇÔÀÌ ÁßøµÈ ÇüŶó´Â °ÍÀ» ¾Ë¾Æ³Â´Ù. Áï, SHJ žçÀüÁöÀÇ °áÇÔÀÌ µÎ °¡ÁöÀÇ º¹ÇÕÀûÀÎ ÇüÅ·ΠÁ¸ÀçÇÔÀ» ÃÖÃÊ·Î ±Ô¸íÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
¿¬±¸ÁøÀÌ ¹ß°ßÇÑ µÎ °¡Áö ÇüÅ´ ´À¸° »ó(±íÀº °áÇÔ)°ú ºü¸¥ »ó(¾èÀº °áÇÔ)À¸·Î, µÎ ÇüŸ¦ °¢°¢ ºÐ¼®ÇÔÀ¸·Î½á ½Éµµ, ¼ÒÀÚ ³» À§Ä¡, ¿øÀÚ °áÇÕ ÇüÅ µî ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼ºÀÌ ¼·Î ´Ù¸£°Ô ³ªÅ¸³ª´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß´Ù. À̸¦ ÅëÇØ ÆÐ½Ãº£ÀÌ¼Ç ±â¼ú ¿¬°è¸¦ À§Çؼ´Â °áÇÔÀÇ Áõ°¨ µî Á¤·®Àû Æò°¡¿Í ´õºÒ¾î ¼ÒÀÚ Æ¯¼º¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ Áß½ÉÀÇ ÁúÀû Æò°¡µµ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù´Â Á¡À» ÀÔÁõÇß´Ù.
¿¬±¸ÁøÀº ¶ÇÇÑ “µÎ ÇüÅÂÀÇ °áÇÔÀº žçÀüÁöÀÇ Á¦Á¶ °øÁ¤°ú ¼ÒÀÚ ±¸µ¿¿¡ µû¶ó ¿øÀÚ °£ °áÇÕ°ú »óŰ¡ º¯ÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù”´Â °Íµµ ¹àÇô³Â´Ù. ƯÈ÷ “žçÀüÁö¿¡ Æ÷ÇÔµÈ ¼ö¼Ò°¡ °áÇÔ »óÅ º¯ÈÀÇ ÇÙ½É ¿äÀÎÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÑ´Ù”´Â °ÍÀ» ½ÇÇèÀûÀ¸·Î Áõ¸íÇß´Ù.

Á¤Àü¿ë·® °úµµÀÀ´äÀ» ‘ÀÌÁß »ó ÇüÅÂ’·Î ºÐÇØ ¿¬±¸ÁøÀº ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ Å¾çÀüÁöÀÇ Á¤Àü¿ë·® °úµµÀÀ´ä(Capacitance transient)À» Á÷Á¢ ºÐ¼®, DLTS ½ÅÈ£¸¦ ½Ã°£ ¿µ¿ª¿¡¼ ÀÌÁß »ó(dual-phase) ÇüÅ·ΠºÐÇØÇÏ´Â »õ·Î¿î ºÐ¼®¹ýÀ» °³¹ßÇß´Ù. ´ÜÀÏ Áö¼öÇÔ¼ö·Î °¡Á¤ÇÏ´ø ±âÁ¸ DLTS ÇØ¼®À» ³Ñ¾î, ´À¸° »ó(slow phase, ±íÀº °áÇÔ)°ú ºü¸¥ »ó(fast phase, ¾èÀº °áÇÔ) µî µÎ °³ÀÇ »ó(phase)À¸·Î ºÐ¸®ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
°¢ °áÇÔÀÇ Æ÷ȹ ´Ü¸éÀû, Æ®·¦ ³óµµ, ¿¡³ÊÁöÁØÀ§¸¦ µ¶¸³ÀûÀ¸·Î µµÃâÇÏ¿© °áÇÔÀÇ ¾çÀû Ư¼º(°áÇÔ³óµµ)»Ó ¾Æ´Ï¶ó ÁúÀû Ư¼ºÀ» Á¤·®ÈÇß´Ù. ±× °á°ú, µÎ »óÀÇ °áÇÔÀÌ ¼·Î ´Ù¸¥ °áÇÕ±¸Á¶(DB, weak Si-Si bonds)ÀÓÀ» ±Ô¸íÇß´Ù.
´õºÒ¾î, ¿¬±¸ÁøÀº °áÇÔÀÇ ¿Ã³¸®-À¯µµ º¯È¯ ¹× ÆÐ½Ãº£ÀÌ¼Ç Ç°Áúµµ ÀçÇØ¼®ÇÏ¿©, ITO ½ºÆÛÅ͸µ¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýÇÑ ±íÀº °áÇÔÀÌ ¿Ã³¸® ÈÄ ¾èÀº °áÇÔÀ¸·Î º¯È¯µÊÀ» È®ÀÎÇß´Ù. ¿Ã³¸® ÈÄ °áÇÔ³óµµ´Â Áõ°¡ÇßÁö¸¸, °áÇÕ±¸¼º º¯È·Î ÀÎÇØ ¿ÀÈ÷·Á ÆÐ½Ãº£ÀÌ¼Ç Ç°ÁúÀÌ È¸º¹µÊÀ» ½ÇÁõÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ·Î½á ¼ö¼Ò È®»ê¿¡ ÀÇÇØ Ç¥¸é Àç°áÇÕ(dangling bond)ÀÌ ¾àÇÑ Si-Si bond·Î À籸¼ºµÇ´Â °áÇÔ/Àç°áÇÕ ¸ÞÄ¿´ÏÁòÀ» Á¦½ÃÇß´Ù.

À̹ø ¿¬±¸¸¦ Åä´ë·Î, ÇâÈÄ °áÇÔÀÇ ‘¾ç’ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ‘ÇüÅÂ’¿Í ‘º¯È¯’À» Áß½ÉÀ¸·Î ÇÑ »õ·Î¿î ÆÐ½Ãº£ÀÌ¼Ç ÇØ¼® ÆÐ·¯´ÙÀÓÀ» Á¦½ÃÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ¶ÇÇÑ ¹Ì¼¼ °áÇÔÀÇ µ¿Àû º¯È¯¿¡ ±â¹ÝÇÑ °áÇÔ Á¦¾î±â¼ú °³¹ß·Î Àå±â ¾ÈÁ¤¼º ¹× È¿À² Çâ»ó¿¡µµ À̹ÙÁöÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ë¸¦ ¸ðÀº´Ù.
º» ¿¬±¸ÀÇ °áÇÔÁ¦¾î ±â¹ýÀº ÇâÈÄ °íÈ¿À² ½Ç¸®ÄÜ Å¾çÀüÁö ¹× ÆÐ·Îºê½ºÄ«ÀÌÆ®-Si ÅÄ´ý žçÀüÁö»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó MOS Æ®·£Áö½ºÅÍ, LED, ¼¾¼ µî ¹ÝµµÃ¼/µð½ºÇ÷¹ÀÌ µîÀÇ ¼ÒÀç °øÁ¤ °³¹ß¿¡µµ Àû¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù.
ÇØ´ç ¿¬±¸¸¦ ÁÖµµÇÑ ¿¡³ÊÁö¿¬ ¼ÛÈñÀº ¹Ú»ç´Â “º» ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ °íÈ¿À² ½Ç¸®ÄÜ ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ Å¾çÀüÁö °³¹ßÀ» °¡¼ÓÈÇϰí, ³ª¾Æ°¡ ¿¡³ÊÁö¿¬ÀÇ µ¶ÀÚ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ÀûÃþÇü žçÀüÁö¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù”°í ¹àÇû´Ù.

ÃæºÏ´ë ±è°¡Çö ±³¼ö´Â “º» ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ °³¹ßµÈ ºÐ¼® ¹æ½ÄÀ» žçÀüÁö»Ó ¾Æ´Ï¶ó ¼¾¼, LED ¹× CMOS ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ µî ´Ù¾çÇÑ ¹ÝµµÃ¼/µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß·Î È®ÀåÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí, ÇØ´ç ¿¬±¸´Â ¼¼°èÀûÀÎ Àç·á°úÇÐ ÇмúÁö ¡¶¾îµå¹ê½ºÆ® Æã¼Å³Î ¸ÓƼ¸®¾óÁî(Advanced Functional Materials/IF 19/JCR »óÀ§ 4.5 %)¡· ’25³â 10¿ùÈ£¿¡ Ç¥Áö ³í¹®À¸·Î ¼±Á¤µÆ´Ù.
<Energy News>
http://www.energy.co.kr
|